SR100 薄膜分析仪_大发电子游戏

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簡介

　　SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司，其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數也可以實現測量，為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

　　產品詳情：

基本功能	1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數 2，實現薄膜均勻性檢測 3，實現反射、投射以及顏色測量
產品特點	強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫；簡便、易行的可視化測試界面，可根據用戶需求設置不同的參數；快捷、準確、穩定的參數測試；支持多功能配件集成以及定制；支持不同水平的用戶控制模式；支持多功能模擬計算等等。
系統配置	型號：SR100R 探測器： 2048像素的CCD線陣列光源：高穩定性、長壽命的鹵素燈光傳送方式：光纖臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節樣品重量，200mmx200mm的大小軟件： TFProbe 2.2版本的軟件通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率電腦硬件要求：P3以上、最低50 MB的空間電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A 保修：一年的整機及零備件保修

規格尺寸

波長范圍：250nm到1100 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm 基板尺寸：最多可至50毫米厚測量厚度范圍：2nm～50μm 測量時間：最快2毫秒精確度：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）重復性誤差*：小于1 ?
可選配件項	用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR100RT) ) 最低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100) 在多個位置下，多個通道用于同時測量 (SR100xX) 在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪（SRM100-200/300）

應用系統

　　主要應用于透光薄膜分析類領域：

　　1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

　　2 半導體制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 醫學，生物薄膜及材料領域等

　　5 油墨，礦物學，顏料，調色劑等

　　6 醫藥，中間設備

　　7 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　8 半導體化合物

　　9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

　　10 非晶體，納米材料和結晶硅

未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加

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